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PTHC系列低温液冷机应用于晶圆测试的高低温冷热台(晶圆测试载物台)chuck的加热制冷控温,载冷剂采用硅油或氟化液循环精确控温,液冷制冷机主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。
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